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楔形偏轉(zhuǎn)線圈和平板電極靜電偏轉(zhuǎn)器的偏轉(zhuǎn)場的計算方法

尤世杰 朱協(xié)卿 張水順

尤世杰, 朱協(xié)卿, 張水順. 楔形偏轉(zhuǎn)線圈和平板電極靜電偏轉(zhuǎn)器的偏轉(zhuǎn)場的計算方法[J]. 電子與信息學(xué)報, 1985, 7(2): 127-135.
引用本文: 尤世杰, 朱協(xié)卿, 張水順. 楔形偏轉(zhuǎn)線圈和平板電極靜電偏轉(zhuǎn)器的偏轉(zhuǎn)場的計算方法[J]. 電子與信息學(xué)報, 1985, 7(2): 127-135.
You Shijie, Zhu Xieqing, Zhang Shuishun. THE NUMERICAL COMPUTATION OF DEFLECTION FIELD OF THE DEFLECTION YOKE WITH WEDGE PROFILE AND THE ELECTROSTATIC DEFLECTOR WITH PLANAR ELECTRODES[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1985, 7(2): 127-135.
Citation: You Shijie, Zhu Xieqing, Zhang Shuishun. THE NUMERICAL COMPUTATION OF DEFLECTION FIELD OF THE DEFLECTION YOKE WITH WEDGE PROFILE AND THE ELECTROSTATIC DEFLECTOR WITH PLANAR ELECTRODES[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1985, 7(2): 127-135.

楔形偏轉(zhuǎn)線圈和平板電極靜電偏轉(zhuǎn)器的偏轉(zhuǎn)場的計算方法

THE NUMERICAL COMPUTATION OF DEFLECTION FIELD OF THE DEFLECTION YOKE WITH WEDGE PROFILE AND THE ELECTROSTATIC DEFLECTOR WITH PLANAR ELECTRODES

  • 摘要: 本文介紹楔形截面的偏轉(zhuǎn)線圈和平板電極的靜電偏轉(zhuǎn)器的偏轉(zhuǎn)場的計算方法。楔形線圈可以組合成形狀多樣的組合磁偏轉(zhuǎn)器,有利于通過適當(dāng)改變場分布形狀,進一步減小偏轉(zhuǎn)象差。矩形平板電極靜電偏轉(zhuǎn)器的優(yōu)點是結(jié)構(gòu)簡單,有希望用它組成多電子束系統(tǒng)的偏轉(zhuǎn)器陣列。根據(jù)上述兩種偏轉(zhuǎn)器的計算方法,已建立起實用的計算機程序,計算了一些典型結(jié)構(gòu)偏轉(zhuǎn)器的場分布。
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  • H. C. Chu and E. Munro, Proceeding of Microcircuit Engineering 80, edited by R. P. Kramer, Delft University, Amsterdam 1981, p. 19. [2] E. Munro and H. C. Chu, OPTIK, 60(1982), 371.[2]H. Ohiwa, E. Goto and A. Ono, Elect. Comm. Jpn, .54-B(1971), 44.[3]E. Goto and T. Soma, OPTIK, 48(1977), 255.
  • 加載中
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  • 被引次數(shù): 0
出版歷程
  • 收稿日期:  1983-03-01
  • 修回日期:  1984-02-15
  • 刊出日期:  1985-03-19

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