電子束成象制作圖形的新方法探索

孫毓平

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電子束成象制作圖形的新方法探索

孫毓平

文章導(dǎo)航 > 電子與信息學(xué)報 > 1987 > 9(5): 477-480

孫毓平. 電子束成象制作圖形的新方法探索[J]. 電子與信息學(xué)報, 1987, 9(5): 477-480.

引用本文:

孫毓平. 電子束成象制作圖形的新方法探索[J]. 電子與信息學(xué)報, 1987, 9(5): 477-480.

Sun Yuping. A NEW METHOD FOR PATTERN MAKING BY USING ELECTRON BEAN IMAGING IN SiO2 FILM[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1987, 9(5): 477-480.

Citation:

Sun Yuping. A NEW METHOD FOR PATTERN MAKING BY USING ELECTRON BEAN IMAGING IN SiO2 FILM[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1987, 9(5): 477-480.

孫毓平. 電子束成象制作圖形的新方法探索[J]. 電子與信息學(xué)報, 1987, 9(5): 477-480.

引用本文:

孫毓平. 電子束成象制作圖形的新方法探索[J]. 電子與信息學(xué)報, 1987, 9(5): 477-480.

Sun Yuping. A NEW METHOD FOR PATTERN MAKING BY USING ELECTRON BEAN IMAGING IN SiO2 FILM[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1987, 9(5): 477-480.

Citation:

Sun Yuping. A NEW METHOD FOR PATTERN MAKING BY USING ELECTRON BEAN IMAGING IN SiO2 FILM[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1987, 9(5): 477-480.

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出版歷程
- 收稿日期: 1986-02-14
- 修回日期: 1986-08-04
- 刊出日期: 1987-09-19

A NEW METHOD FOR PATTERN MAKING BY USING ELECTRON BEAN IMAGING IN SiO2 FILM

Sun Yuping

摘要

摘要: 本文介紹了利用電子束成象在硅襯底上的薄二氧化硅膜中制作圖形的一種新方法。所得的電子象,利用聚脂型反應(yīng)媒介物并通過氫氟酸汽相腐蝕,不僅可以在二氧化硅膜上形成正圖形,而且可以形成負(fù)圖形。
Abstract: A new method for patterns making by using electron beam imaging in SiO2 film on silicon substrate is presented. The electron beam images in SiO2 film can form not only positive patterns but also negative patterns by using HF vapor etching and reactive media.