一種水冷空腔電弧陰極
A WATER-COOLED ARC CATHODE
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摘要: 正 大電流電子源是高功率氬離子激光器、離子鍍膜裝置、真空冶煉設(shè)備等的關(guān)鍵部件。目前多數(shù)是采用熱陰極,現(xiàn)在介紹一種水冷杯狀空腔電弧陰極。 設(shè)計空腔電弧陰極主要考慮:散熱、絕緣、防止燒蝕、消除污染、限制弧斑運動、穩(wěn)定電弧、啟動電弧等因素。 本文設(shè)計的陰極如圖1所示。圖中1是水冷杯狀金屬空腔,其內(nèi)壁面是陰極的發(fā)射面。在陰極出口孔內(nèi),裝有自加熱襯套2,用它來把陰極斑約束在空腔內(nèi)。3是絕緣墊
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關(guān)鍵詞:
Abstract: This paper presents a water-cooled are cathode operating in a condition of lowpressure continuous discharge. It has been used successfully in a full metal argon ion laser and an ion plating equipment. -