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-Fe2O3薄膜的制備、結(jié)構(gòu)和氣敏特性

嚴(yán)北平 彭軍 柴常春

嚴(yán)北平, 彭軍, 柴常春. -Fe2O3薄膜的制備、結(jié)構(gòu)和氣敏特性[J]. 電子與信息學(xué)報(bào), 1995, 17(5): 506-511.
引用本文: 嚴(yán)北平, 彭軍, 柴常春. -Fe2O3薄膜的制備、結(jié)構(gòu)和氣敏特性[J]. 電子與信息學(xué)報(bào), 1995, 17(5): 506-511.
Yan Beiping, Peng Jun, Chai Changckun. PREPARATION,STRUCTURE AND GAS SENSING PROPERTIES OF Fe2O3 THIN FILMS[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1995, 17(5): 506-511.
Citation: Yan Beiping, Peng Jun, Chai Changckun. PREPARATION,STRUCTURE AND GAS SENSING PROPERTIES OF Fe2O3 THIN FILMS[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1995, 17(5): 506-511.

-Fe2O3薄膜的制備、結(jié)構(gòu)和氣敏特性

PREPARATION,STRUCTURE AND GAS SENSING PROPERTIES OF Fe2O3 THIN FILMS

  • 摘要: 采用等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積工藝(PECVD)制備出了Fe2O3薄膜。用X射線衍射(XRD)和掃描電子顯微鏡(SEM)分析了薄膜的結(jié)構(gòu)、表面形貌和粒度。研究了薄膜對(duì)乙醇、液化石油氣、煤氣和氫氣的敏感特性。結(jié)果表明所研制的薄膜對(duì)乙醇有較高靈敏度,其檢測(cè)下限可達(dá)1ppm,而對(duì)液化石油氣、煤氣和氫氣不太敏感,具有優(yōu)良的選擇性。
  • Matsuoka M, Nakatani Y, Ochido H. Nat. Tech. Rep., 1978, 24(4): 461-464.[2]Nakatani Y, Matsuoka M. Jpn[J].J. Appl. Phys.1982, 21(12):758-760[3]Yamazaki T, Wada S, Noma T, Suzuki T. Gas Sensing Properties of Ultrathin Zinc Oxide Films. Technical Digest of the Fourth International Meeting[4]on Chemical Sensors. Tokyo, Japan: September 13-17, 1992, 672-673.[5]Matsushima S, et al. NO2 Gas Sensing Properties of Ga-Doped ZnO Thin Film. Technical Digest of the Fourth International Meeting[6]on Chemical Sensors. Tokyo, Japan: September 13-[7]1992. 704-705.[8]Maekawa T, et al. Sensors and Actuators, 1992, B9(1): 63-69.[9]Demarne V, Grisel A. Sensors and Actuators, 1990, B1(1-6): 87-91.[10]Xu J Q, Shen Y S. Gas Sensitive Character of UFP -Fe2O3 made by PCVD. Technica3 DiResi of the Fourth International Meeting[11]on Chemical Sensors. Tokyo, Japan: September 13-17,1992,766-767.
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出版歷程
  • 收稿日期:  1993-12-06
  • 修回日期:  1994-05-24
  • 刊出日期:  1995-09-19

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