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NMOS低溫?zé)彷d流子晶體管的解析研究

劉衛(wèi)東 魏同立

劉衛(wèi)東, 魏同立. NMOS低溫?zé)彷d流子晶體管的解析研究[J]. 電子與信息學(xué)報(bào), 1996, 18(6): 661-665.
引用本文: 劉衛(wèi)東, 魏同立. NMOS低溫?zé)彷d流子晶體管的解析研究[J]. 電子與信息學(xué)報(bào), 1996, 18(6): 661-665.
Liu Weidong, Wei Tongli . ANALYTICAL INVESTIGATION OF LOW-TEMPERATURE HOT-CARRIER NMOSFET S[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1996, 18(6): 661-665.
Citation: Liu Weidong, Wei Tongli . ANALYTICAL INVESTIGATION OF LOW-TEMPERATURE HOT-CARRIER NMOSFET S[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1996, 18(6): 661-665.

NMOS低溫?zé)彷d流子晶體管的解析研究

ANALYTICAL INVESTIGATION OF LOW-TEMPERATURE HOT-CARRIER NMOSFET S

  • 摘要: 利用低溫(77-295K)短溝NMOSFET準(zhǔn)二維解析模型,研究了77-295K溫區(qū)NMOSFET襯底電流相關(guān)的物理機(jī)制。發(fā)現(xiàn)溝道電子平均自由程不隨溫度而改變,其值約為7.6nm;低溫下雖然溝道電子在漏端獲得較高的能量,但由于碰撞電離減弱,使NMOSFET的襯底電流不隨溫度降低而顯著增長(zhǎng)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明,提出的襯底電流機(jī)制和模型適用于77-295K寬溫區(qū)范圍。
  • Heremans P, Groseneken G, Maes H E. IEEE Trans. on ED, 1991, ED-38(4): 851-857.[2]Von Bruns S L, Anderson R L IEEE Trans. on ED, 1987, ED-34(1): 75-82.[3]Henning A K, Chen N N, Watt J T, et al. IEEE Trans. on ED, 1987, ED-34(1): 64-74.[4]Arora N D, Sharma 1VI S. IEEE Trans. on ED, 1991, ED-38(6): 1392.[5]Huang J H, Zhang G B, Liu Z H, et al. IEEE Electron. Device Lett., 1993, EDL-14(5): 268-271.[6]Tam S, Ko P K, Hu C, et al. IEEE Trans. on ED, 1982, ED-29(11): 1740-1744.[7]Drummond W E, Moll J L. J. Appl. Phys., 1971, 42(13): 5556-5562.[8]Ali-omar M, Reggiani L. Solid-State Electronics, 1987, 30(7): 693-697.[9]Caughey D M, Thomas R E. Proc. IEEE, 1967, (12): 2192-2198.[10]Tewksbury S K. IEEE Trans. on ED, 1981, ED-28(12): 1519-1529.[11]Lau D.[J].Gildenblat G, Sodini C G, et al. Low-Temperature Substrate Current Characterization of n-Channel MOSFETs, Tech. Dig. of IEDM.1985,:-et al. Low-Temperature Substrate Current Characterization of n-Channel MOSFET' target='_blank'>[12]Ridley B K. J. Phys[J].C: Solid State Phys.1983, 16:3373-[13]Crowell C R, Sae S M. Appl[J].Phys. Lett.1966, 9(6):242-[14]Ko P K. Hot-electron effects in MOSFETs, Ph. D. Dissertation, University of California, Berkeley, 1982.[15]El-Massy Y A, Boothroyd A R. IEEE Trans. on ED. 1977, ED-24(3): 254-262.
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出版歷程
  • 收稿日期:  1994-12-19
  • 修回日期:  1995-10-24
  • 刊出日期:  1996-11-19

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