多能譜電子束能量分布的蒙特卡羅模擬和空間電荷效應(yīng)
MONTE CARLO SIMULATION OF ENERGY SPECTRUM AND SPACE CHARGE EFFECT OF MULTI-ENERGY ELECTRON BEAMS
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摘要: 利用電子束穿越固體薄膜時,束電子與固體中的原子或電子之間的相互作用而產(chǎn)生能量改變,是獲取多能譜電子束的一種方便可行的理想途徑。通過改變薄膜材料或組份、薄膜厚度以及入射電子束的能量和方向等,可以得到各種不同能量分布的電子束。為了預(yù)測多能束的能量分布,我們采用蒙特卡羅模擬計算電子在固體中的散射效應(yīng)。得到的透射系數(shù)和透射電子的能譜與實驗測量結(jié)果一致。為計算多種能量電子共存空間的電位分布,我們對多能電子束在均勻電場或無場空間中的空間電荷效應(yīng)進行了分析計算。
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關(guān)鍵詞:
- 多能譜電子束; 能量分析; 蒙特卡羅模擬; 空間電荷效應(yīng)
Abstract: An approach to generate a multi-energy electron beam by transmitting a monoen-ergetic beam though a solid film is proposed. The energy (velocity) spectrum of the resultant beam is predicted by Monte Carlo simulation of electron scattering. The calculation accuracy is fairly good in comparison with available measurements. Space charge effect of a multi-energy electron beam in a uniform electrical field or field-free space has also been analyzed. -
康念坎, 等.多能譜電子束的獲得和性能.第六屆全國電子束離子束學(xué)術(shù)年會論文集.宜昌:1995, 21.[2]丁澤軍. Monte Carla方法在微束分析中的應(yīng)用.電子顯微學(xué)報, 1996, 15(6): 125-132.[3]Shimizu R, Ding Zejun. Monte-Carlo modeling of electron-solid interaction[J].Reports on Progress in Physics.1992, 55(1):487-514[4]Shimizu R, et al. J. Phys[J].D: Appl. Phys.1976, 9(1):101-108 -
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