1982, 4(6): 346-353.
摘要:
VVMOS晶體管是一種開有V形槽的垂直溝道高頻功率MOS場效應(yīng)器件,它的一個主要優(yōu)點(diǎn)是與其它MOS器件一樣不會發(fā)生二次擊穿,然而近來一些作者報(bào)道MOS器件有負(fù)阻擊穿效應(yīng),而這種負(fù)阻擊穿效應(yīng)也會引起二次擊穿,導(dǎo)致器件燒毀。我們在測量自制的VVMOS晶體管時,也觀察到了負(fù)阻擊穿,經(jīng)過研究,提出了縱向寄生npn雙極晶體管的VVMOS晶體管負(fù)阻擊穿模型,在此基礎(chǔ)上還提出了幾種抑制負(fù)阻擊穿效應(yīng)的方法,在采用了這些方法后,負(fù)阻擊穿效應(yīng)被減弱,甚至被消除,從而證實(shí)了所提出的VVMOS晶體管負(fù)阻擊穿模型。